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针对Sm-Fe薄膜的不同晶态组织演化和磁性能调控问题，采用分子束气相沉积方法制备Sm-Fe薄膜时，通过改变Sm含量、膜厚和强磁场来调节薄膜的晶态和磁性能．结果表明，Sm含量可以调节Sm-Fe薄膜的晶态组织演化，而晶态组织的演化和强磁场对磁性能有显著影响．Sm-Fe薄膜在Sm原子比为5．8％时是体心立方晶态组织，在Sm含量为33．0％时为非晶态组织，而膜厚和强磁场不会影响薄膜的晶态组织．非晶态薄膜的表面粗糙度和表面颗粒尺寸都比晶态薄膜的小，施加6T强磁场会使表面颗粒尺寸增大，而表面粗糙度降低．非晶态薄膜的饱