【摘 要】
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研究了碱性条件下铜精抛液中非离子表面活性剂对平坦化效果的影响,通过改变精抛液中活性剂的浓度,讨论了表面活性剂对精抛速率、精抛后碟形坑延伸情况、晶圆表面非均匀性以及
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研究了碱性条件下铜精抛液中非离子表面活性剂对平坦化效果的影响,通过改变精抛液中活性剂的浓度,讨论了表面活性剂对精抛速率、精抛后碟形坑延伸情况、晶圆表面非均匀性以及表面形貌的影响。实验表明:非离子表面活性剂能够在保证精抛去除速率的基础上,有效控制碟形坑的延伸,实现对碟形坑的修正。同时,由于表面活性剂的加入,提高了晶圆表面非均匀性,降低了粗糙度,并使Cu晶圆的表面形貌得到了改善,碱性铜精抛液的平坦化效果显著提高。
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