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叠层CSP封装已日益成为实现高密度、三维封装的重要方法.在叠层CSP封装工艺中,封装体将承受多次热载荷.因此,如果封装材料之间的热错配过大,在芯片封装完成之前,热应力就会引起芯片开裂和分层.详细地研究了一种典型四层芯片叠层CSP封装产品的封装工艺流程对芯片开裂和分层问题的影响.采用有限元的方法分别分析了含有高温过程的主要封装工艺中产生的热应力对芯片开裂和分层问题的影响,这些封装工艺主要包括第一层芯片粘和剂固化、第二、三、四层芯片粘和剂固化和后成模固化.在模拟计算中发现:(1)比较三步工艺固化工艺对叠层CS