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本文通过分析In0.53Ga0.47As材料的电子漂移速度与电场的非线性关系,研究了In0.53Ga0.47As金属-半导体-金属光电探测器(MSM-PD)的光电响应与指状电极间距离,光吸收层杂质浓度及工作电压之间的关系。研究结果表明,光电响应速度存在最佳值。用计算机辅助分析得到的In0.53Ga0.47AsMSM-PD的光电响应时间与偏置电压的关系与实验器件实测结果相一致。研究结果为设计高速响应