【摘 要】
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本文讨论了多功能宽离子束形成的物理过程,给出了均匀束、会聚束及球状发散束的设计原则和方法,并列举了实例和测试方法.其中球状发散束则为首次提出的.这些宽离子束均已应用
【机 构】
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西安交通大学电子工程系,西安交通大学电子工程系,西安交通大学电子工程系,西安交通大学电子工程系,
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本文讨论了多功能宽离子束形成的物理过程,给出了均匀束、会聚束及球状发散束的设计原则和方法,并列举了实例和测试方法.其中球状发散束则为首次提出的.这些宽离子束均已应用于离子束直接淀积、离子束溅射淀积及离子束辅助镀膜技术等薄膜工艺,效果良好.
This paper discusses the physical process of multi-functional wide ion beam formation, and gives the design principles and methods of uniform beam, convergent beam and spherical divergent beam, and gives examples and test methods. The spherical divergent beam is first proposed. Wide ion beams have been used in direct ion beam deposition, ion beam sputtering deposition and ion beam assisted coating technology and other thin film technology, the effect is good.
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