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高压H2/F2脉冲化学激光器要求脉宽≤1 μs,在240~340 nm波段的强紫外光源 作光引发。这样脉宽的脉冲气体放电灯，其 效率为1%~2%,所以用XeCl、XeF、KrF等准分子激光器泵浦化学激光器在能量上是合算的,这些激光器的辐射是在F2的吸收带内，技术效率达到5%~7%。但是，尽管与H2 F2的链式反应特性有关，将紫外光能转换成红外相干辐射能量的效率很髙，在作者的实验条件下已达1500%,而准分子激光器——化学激光器系统的技术效率仍然低于100%。