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离子敏感场效应器件研究的进展
离子敏感场效应器件研究的进展
来源 :仪器仪表学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xuhuangyun1118
【摘 要】
:
离子敏感场效应器件研究的进展牛蒙年(中国科学院上海冶金所)丁辛芳,童勤义(东南大学)0引言离子敏感场效应器件自问世至今已有二十多年,目前已能成功地对二十多种离子进行传感,而且形
【作 者】
:
牛蒙年
丁辛芳
童勤义
【机 构】
:
中国科学院上海冶金所,东南大学
【出 处】
:
仪器仪表学报
【发表日期】
:
1995年3期
【关键词】
:
离子敏感材料
场效应器件
制造
发展
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离子敏感场效应器件研究的进展牛蒙年(中国科学院上海冶金所)丁辛芳,童勤义(东南大学)0引言离子敏感场效应器件自问世至今已有二十多年,目前已能成功地对二十多种离子进行传感,而且形成多种对生物信号敏感的场效应结构传感器,如BioFET、ENFET、IMF...
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