【摘 要】
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采用固相反应法制备了不同比例的碱金属掺杂ZnO靶材,并利用磁控溅射法在Si（111）基片上制备不同温度下生长的c轴择优取向ZnO薄膜。通过XRD、AFM和荧光光谱（PL谱）研究了掺杂元素和
【机 构】
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西北工业大学凝聚态结构与性质陕西省重点实验室
【基金项目】
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西北工业大学基础研究基金(JC200821)
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采用固相反应法制备了不同比例的碱金属掺杂ZnO靶材,并利用磁控溅射法在Si（111）基片上制备不同温度下生长的c轴择优取向ZnO薄膜。通过XRD、AFM和荧光光谱（PL谱）研究了掺杂元素和掺杂比例对薄膜结构和发光特性的影响。结果表明,掺杂未改变ZnO的结构,薄膜具有很好的c轴择优取向。室温下用325 nm的氙灯作为激发光源得到不同样品的PL谱,分析表明,紫外发光峰来源于自由激子的复合辐射与带间跃迁,蓝绿发光峰与锌缺陷和氧缺陷有关。此外还探讨了紫外发光峰红移的可能机理。
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