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本文介绍一种实现精确、稳定、洁净传输的专用硅片机械手的组成与特点。该系统特殊的机构设计可避免接触硅片表面，使硅片在加工中受到的污染达最小。采用PLC控制各部功能，完成机械手的抓取、升降、旋转等运动。较同类型机械手，有着结构简单紧凑、稳定性好等特点。
一种新型硅片传输机械手的设计
【摘 要】
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本文介绍一种实现精确、稳定、洁净传输的专用硅片机械手的组成与特点。该系统特殊的机构设计可避免接触硅片表面，使硅片在加工中受到的污染达最小。采用PLC控制各部功能，完成
【机 构】
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西安工业大学光电工程学院,西安北方光电有限公司航控车间
【出 处】
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科技信息(科学教研)
【发表日期】
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2008年5期
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