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以正硅酸乙酯为前驱体，氨水为催化剂，采用溶胶-凝胶法制备了二氧化硅增透膜；通过自组装技术，用氟硅烷对膜层进行表面修饰，制得了疏水增透膜，克服了常规增透膜亲水的缺点。采用红外光谱、分光光度计、扫描探针显微镜和静滴接触角测量仪等测试手段分析了薄膜的特性。结果表明：疏水增透膜的峰值透光率为99．7％，疏水角为110^o；氟硅烷自组装改性不影响二氧化硅增透膜的光学性能。