【摘 要】
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利用等离子体基离子注入技术对硬铝ＬＹ１２和锻铝ＬＤ１０两种材料通过改变注入脉宽、频率、时间和电压等参数进行氮离子注入，注入剂量范围为２×１０１７～１×１０１８Ｎ＋／ｃｍ２。利用低角Ｘ射线衍射法（ＧＩＸＲＤ）分析氮离子注入层的相结
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利用等离子体基离子注入技术对硬铝ＬＹ１２和锻铝ＬＤ１０两种材料通过改变注入脉宽、频率、时间和电压等参数进行氮离子注入，注入剂量范围为２×１０１７～１×１０１８Ｎ＋／ｃｍ２。利用低角Ｘ射线衍射法（ＧＩＸＲＤ）分析氮离子注入层的相结构。在此基础上进行了显微硬度和摩擦磨损试验。由于氮离子注入铝合金能形成硬质的ＡｌＮ析出相，合金表面硬度及耐磨性都得到改善，随着注入脉宽、频率、时间和电压的增加，铝合金表层硬度及耐磨性也相应提高。
Plasma ion implantation was used to implant nitrogen ions into the two materials LAL12 and LD10 by changing the pulse width, frequency, time and voltage. The implantation dose ranged from 2 × 1017 to 1 × 1018N / cm2. The phase structure of the nitrogen ion implanted layer was analyzed by low angle X-ray diffraction (GIXRD). On this basis, microhardness and friction and wear tests were carried out. Due to the formation of hard AlN precipitates by nitrogen ion implantation, the surface hardness and wear resistance of the alloy are improved. With the increase of pulse width, frequency, time and voltage, the surface hardness and wear resistance of aluminum alloy also correspond to each other improve.
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