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<正> 一、前言 喷涂30～50μm的复合SiC保护涂层可以显著提高大口径石英玻璃管的抗高温性能,使其高温使用寿命延长2～3倍。精确测定SiC涂层厚度,研究和改进涂层工艺以及检验成品管涂层的质量具有重要意义。为此开展了本项研究工作。石英玻璃管涂层测厚的技术要求如下: (1)能满足实际使用的不同规格的石英玻璃管涂层测厚要求。所测的规格范围为: 管长 1200～2000mm、管径 70～200mm、壁厚 2～4.5mm (2)要求在涂层段沿轴向每隔10cm为