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叙述了智能化涡流薄膜厚度测量系统的组成，原理及控制关系，分析了保证了测量不确定度很小的措施，指出了采用涡流测量薄膜厚度也是一种实用的测量方法。
智能化涡流薄膜厚度测量的研究
【摘 要】
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叙述了智能化涡流薄膜厚度测量系统的组成，原理及控制关系，分析了保证了测量不确定度很小的措施，指出了采用涡流测量薄膜厚度也是一种实用的测量方法。
【机 构】
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华南理工大学电子与通信工程系
【出 处】
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真空与低温
【发表日期】
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1997年1期
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