【摘 要】
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目前X射线衍射仪（XRD）的角度检定和校准测试主要依据JJG 629-1989《多晶X射线衍射仪检定规程》和JB/T 9400-2010《X射线衍射仪技术条件》等技术文件,具体方法是采用光学经纬仪
【机 构】
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天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,中国计量科学研究院
【出 处】
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天津大学学报(自然科学与工程技术版)
【基金项目】
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国家自然科学基金重点资助项目(91023021);中国计量科学研究院基本业务费资助项目(AKY0703);自筹基本业务费资助项目(24-JB1104);机械设计及理论浙江省重中之重学科和浙江理工大学重点实验室开放基金资助项目(ZSTUMD2012A005)
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目前X射线衍射仪（XRD）的角度检定和校准测试主要依据JJG 629-1989《多晶X射线衍射仪检定规程》和JB/T 9400-2010《X射线衍射仪技术条件》等技术文件,具体方法是采用光学经纬仪或多面棱体等进行测试,该测量方法实际应用中存在一定难度,其次测量间隔较大,不能很好反映真实的角度误差规律.为此,提出了利用θ角和2θ角同轴并可独立运动的特点,组合采用光电自准直仪和小角度激光干涉仪等仪器,设计了一种新的XRD的角度校准方法,它能够自动快速地连续测量角度,取k=2时,扩展不确定度约1.2＂.使用该方
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