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本文采用原子力显微镜(AFM)研究了经冷等离子处理的PET织物的表面形态变化，定量地测出了处理后试样的表面均方根粗糙度和表面积的值。研究了PET织物的表面形态(均方根粗糙度和表面积)随着空气等离子处理时间和气体压力的变化规律。同时研究了He、Ar、SF6和CF4等气体作用条件下，PET织物表面特征随着气体压力的变化情况。在空气、He、Ar等气体作用下，主要是由于织物刻蚀作用而引起的表面形态的变化。对SF6和CF4两种气体来说，可能是由于氟原子接枝而在PET织物表面沉淀而不同。