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本文报告以实验的方法，经过一年的工艺跟踪试验，对某型号在线运行十年的中能离子注入机的运行质量进行检测研究。用四探针法研究了中剂量（１×１０￣（１４）ｃｍ－２）注入样品的薄层电阻，发现最大偏差为２％；用Ｃ－Ｖ法测量了低剂量注入样品的表面浓度。检测结果表明，注入样品表面峰值浓度偏差为６％，但不同低剂量注入样品分辨力是可以的；同时发现，氧化后，未注入样品在退火前、后峰值浓度变化为７．４％；对试验样品原始数据也进行了测量。由此提出，集成电路成品率的提高有赖于整个加工线运行质量的可靠程度。