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银膜的性能和厚度直接影响诱导透射滤光片(简称ITF)的性能和指标。在设计在镀制ITF时,确定适当的银膜厚度尤为重要。本文的主要工作是:用结构分析和光谱分析法,得到在衬底温度100℃时,膜厚大于25nm的银膜呈多晶状态,且其结构接近于大块银料。首次确定出用于IF各银膜的下限厚度为32nm,并给出了镀制过程中理论监控曲线和实测监控曲线。