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对于28纳米及以下节点，选择和放置多种过孔类型的复杂要求对LEF／技术文件的布线构成了挑战，导致设计规则检查（DRC）错误增多（需要耗费时间来调试和改正），最终影响了成品率和性能。
条状过孔成大势所趋
【摘 要】
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对于28纳米及以下节点，选择和放置多种过孔类型的复杂要求对LEF／技术文件的布线构成了挑战，导致设计规则检查（DRC）错误增多（需要耗费时间来调试和改正），最终影响了成品率和性能。
【机 构】
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明导公司
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2013年10期
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