MEMS器件三维描述与节点单元提取方法的研究

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设计了一种基于节点法模拟的MEMS(Microelectromechanical system)仿真软件,构思了该软件六模块的结构组成,并提出了前三块的具体实现方法,包括实现MEMS器件三维描述与节点单元提取的方法.结合加工工艺流程与参数,实现了从版图到三维立体结构的生成,并进而完成了节点单元的提取.论文详细讨论了版图解释、矩形分割、两维版图到三维结构的 转换、节点划分和提取等几部分的程序流程及核心算法.以MEMS梳状谐振器为例介绍了相关的算法、过程, 均可获得正确的图形输出结果.
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