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介绍１．０～１．８μｍ抗激光宽带减反射膜的薄膜设计，制备工艺，测试方法及结果。通过采取一系列工艺改进措施，大幅度提高了膜片的抗激光性能，制备的膜片抗光损伤阈达到５００ｍＷ／ｃｍ＾２。
抗激光减反射膜
【摘 要】
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介绍１．０～１．８μｍ抗激光宽带减反射膜的薄膜设计，制备工艺，测试方法及结果。通过采取一系列工艺改进措施，大幅度提高了膜片的抗激光性能，制备的膜片抗光损伤阈达到５００ｍＷ／ｃｍ＾２。
【机 构】
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西安应用光学研究所
【出 处】
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应用光学
【发表日期】
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1995年3期
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