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来源 :材料导报 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
采用射频反应磁控溅射法在普通玻璃衬底上沉积氧化钒薄膜,在高纯N2环境中,不同温度下(350℃、400℃、450℃、500℃)热处理60 min,发现当热处理温度为400℃时,获得具有相变特性
【作 者】
:
陈颖超
刘彭义
唐振方
叶勤
【机 构】
:
暨南大学物理系
【出 处】
:
材料导报
【发表日期】
:
2013年22期
【关键词】
:
VO2薄膜
射频磁控溅射
相变
VO2 thin film
RF magnetron sputtering
phase transition
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