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采用双层辉光离子渗金属技术分别对工业纯铁进行了单元渗W、W-Mo二元共渗、W—Mo—Co三元共渗。通过相同渗金属工艺条件下合金层厚度对比，利用扩散热力学、扩散微观理论以及渗入原子的空位占有率等理论，揭示了渗金属条件下W、Mo、Co三种合金元素的扩散交互作用规律。分析结果表明，多元共渗过程中，共渗元素之间会对彼此的化学势、元素的空位浓度、元素的空位占有率等产生影响，进而影响到元素的扩散速率。