液滴喷射技术在全聚合物薄膜晶体管制备中的应用

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研究液滴喷射技术在全聚合物薄膜晶体管制备中的应用。并着重分析电极材料在预成型基底表面的沉积扩散情况。通过数值模拟。分析隔断材料、液滴与隔断间距、液滴碰撞速度3个因素对沉积的影响。结果发现。只有当这3个要素配置合理时。才能保证液滴的正常沉积。从而保证晶体管的质量。例如。当隔断材料采用聚酰亚胺。沟道宽度为5μm。液滴与隔断间距为30μm。液滴碰撞速度为4m/s时。液滴能够正常沉积。晶体管的质量得到保证。本文结果可为TFTs的制作提供一定的参考。
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