CVD生长SiC涂层工艺过程的正交分析研究

来源 :兵器材料科学与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：gisbird

【摘要】

：

为了在C/C材料表面可靠地制备SiC抗氧化涂层,针对CVD工艺特点,采用正交设计方法对MTS+H2体系制备SiC工艺过程进行了全面系统的研究,在对沉积过程现象进行观察分析的基础上,计

【出处】

：

兵器材料科学与工程

【发表日期】

：

2000年5期

【关键词】

：

碳/碳复合材料碳化硅涂层 CVD 正交设计 C/C composite SiC coating CVD orthogonal design

【基金项目】

：

国防科学基金和航空科学基金资助项目

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

为了在C/C材料表面可靠地制备SiC抗氧化涂层,针对CVD工艺特点,采用正交设计方法对MTS+H2体系制备SiC工艺过程进行了全面系统的研究,在对沉积过程现象进行观察分析的基础上,计算了6种工艺因素对SiC-CVD过程影响的方差,对各自影响的显著性进行了分析,并讨论了所属的21种工艺条件对沉积结果的影响.

其他文献

电解锰阳极液脱硒渣中硒和铁回收工艺探索

使用铁粉还原脱除锰阳极液中硒后的残渣为研究对象,采用双氧水浸出残渣中的硒,实现硒和铁分离的目的。通过正交实验和单因素实验,考察了双氧水用量、反应温度和反应时间等因

期刊

脱硒渣双氧水浸出硒铁Selenium slagHydrogen peroxideLeachingSeleniumIron

我国锰矿床开采岩石力学研究成果及经验

以国内锰矿床进行的岩石力学研究实践为基础,对我国锰矿床开采过程中岩石力学研究工作和所取得的研究成果进行了全面的回顾和总结,这些锰矿床开采的成功经验可为类似矿山借鉴

期刊

锰矿床岩石力学地压控制采矿manganese ore deposit rock mechanics controlling underground pr

根据新规则搞好航海专业的教学与培训

期刊

航海教育STCW78/95公约专业技能培训内容