【摘 要】
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本文通过分析氧化铝模板结构和形成机理,采用阳极氧化法制备氧化铝模板,研究草酸电解液浓度、氧化电压、氧化时间和磷酸处理时间等因素对氧化铝模板微结构的影响,通过扫描电
【机 构】
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150080,黑龙江大学 黑龙江 哈尔滨
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本文通过分析氧化铝模板结构和形成机理,采用阳极氧化法制备氧化铝模板,研究草酸电解液浓度、氧化电压、氧化时间和磷酸处理时间等因素对氧化铝模板微结构的影响,通过扫描电子显微镜(S E M)观察氧化铝膜上孔洞形貌,实验结果氧化电压为40 V、草酸电解液浓度在0.3 mol/L时,氧化铝模板孔洞呈六角形且分布均匀,孔径约为80-100nm.采用磁控溅射法在单晶硅衬底上制作纯铝,基于上述氧化铝模板制备工艺条件,研究电解液浓度、氧化电压对硅基氧化铝模板微结构的影响.实验给出在氧化电压为45V、草酸浓度为0.4mol/L时,硅基氧化铝模板孔洞呈圆孔型,分布较为均匀,孔径约为50nm.
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