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本文主要介绍半导体工业气体监控系统（GMS—Gas Monitoring System）开发的基于PLC的控制系统，该系统具有控制功能强．编程简单．维护方便，可在线修改逻辑等特点。PLC不仅能完成复杂的继电器控制逻辑．而且也能实现模拟量的控制，甚至智能控制，并能实现远程通信．联网及上位监控等。
PLC在半导体工业气体监控系统中的应用
【摘 要】
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本文主要介绍半导体工业气体监控系统（GMS—Gas Monitoring System）开发的基于PLC的控制系统，该系统具有控制功能强．编程简单．维护方便，可在线修改逻辑等特点。PLC不仅能完成复杂的
【出 处】
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现代制造
【发表日期】
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2007年24期
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