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一、引言 压阻式传感器利用半导体材料的压阻效应来进行压力测量。因为具有体积小、重量轻、分辨率高等独特优点,在备行业得到了广泛应用。但由于半导体材料的固有特性,压阻式传感器普遍存在着如下几方面的问题: (1)一致性问题:由于工艺的关系,即使同一批生产的传感器,其特性也会有比较大的离散性。为了保证足够的精度,必须对每个传感器进行校准。 (2)温漂问题:半导体材料对于温度变化很敏感,因此温漂问题在压阻式传感器中尤其显得突出。实际应用中,必须采取一定措施,对传感器的温度漂移进行补偿。