【摘 要】
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利用由电子束感生的电导率(β-电导率)所得到的信号观察了沿耿二极管中电流方向上净施主杂质浓度的一维分布。已被证明,所产生的电压信号是能够清楚地显示出耿二极管有源层中
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利用由电子束感生的电导率(β-电导率)所得到的信号观察了沿耿二极管中电流方向上净施主杂质浓度的一维分布。已被证明,所产生的电压信号是能够清楚地显示出耿二极管有源层中各种形式的掺杂分布。考察了电压信号的特性与二极管特性之间的关系,并确认了二极管的退化是由不对称的杂质分布所引起。
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