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提出了一种可用于将来自不同真实深度处的Ｘ射线衍射谱信息各自分离出来的技术方案，可以得出不同深度处的衍射强度、峰位和线形。该方法是定量和无损的，并且其深度尺度是真实尺度。此外并提出了吸收深度的概念。这一技术可称为直接法Ｘ射线衍射计算机深度层析技术，其可行性用Ｎｉ／Ｍｏ双层膜样品进行了初步验证。该方法可应用于定量无损地测量峰形、峰位和峰强的深度剖面，并有可能用于界面层分析。