【摘 要】
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以氧化锌陶瓷靶和金属钴靶为靶材,利用磁控共溅射方法制备钴掺杂氧化锌(Co-ZnO)薄膜。研究了溅射功率对薄膜的结构、光学和电学性能的影响。结果表明:薄膜具有类似于ZnO的六
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以氧化锌陶瓷靶和金属钴靶为靶材,利用磁控共溅射方法制备钴掺杂氧化锌(Co-ZnO)薄膜。研究了溅射功率对薄膜的结构、光学和电学性能的影响。结果表明:薄膜具有类似于ZnO的六方纤锌矿结构,并沿C轴择优生长;作用在Co靶上的溅射功率对Co-ZnO薄膜的结构和光电性能有一定的影响。在其他条件不变的情况下,当Co靶上的溅射功率设置为10 W时,样品的结晶质量、表面形貌、光透过率、光致发光以及导电性能综合评价最优。
Zinc oxide ceramic target and the metal cobalt target as a target, the use of magnetic co-sputtering cobalt-doped zinc oxide (Co-ZnO) film. The effects of sputtering power on the structure, optical and electrical properties of the films were investigated. The results show that the film has a hexagonal wurtzite structure similar to that of ZnO and preferentially grows along the C axis. The sputtering power acting on the Co target has certain influence on the structure and photoelectric properties of the Co-ZnO thin films. When the sputtering power on the Co target was set to 10 W under other conditions, the crystal quality, surface morphology, light transmittance, photoluminescence and conductivity of the sample were optimally evaluated.
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