【摘 要】
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激光清除表面的外来微粒在微电子学工艺中，微电路衬底表面的清洁问题是很重要的，因为对于微电路，微米级的个别外来微粒都是危险的。使用激光可以实现对微电路衬底表面作干式远距
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激光清除表面的外来微粒在微电子学工艺中，微电路衬底表面的清洁问题是很重要的，因为对于微电路，微米级的个别外来微粒都是危险的。使用激光可以实现对微电路衬底表面作干式远距离清除。清洁衬底是用纳秒或更短的激光脉冲照射表面，激光对表面成锐角投射（参见插图）。...
Laser removal of foreign particles on the surface In the microelectronics process, the problem of cleaning the surface of a microcircuit substrate is important because for micron circuits individual micrometre foreign particles are dangerous. The use of a laser can achieve a dry long distance cleaning of the microcircuit substrate surface. The substrate is cleaned by irradiating the surface with a laser pulse of nanoseconds or less and the laser is projected at an acute angle to the surface (see inset). ...
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