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来源 :云南大学学报(自然科学版) | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
测量设备由光路单元、数字鉴相单元、A/D变换单元、测量平台、PC机及相应的软件组成.利用激光的Raman-Nath衍射和光干涉的原理,该设备通过光探针得到测量和参考正弦波的相位
【作 者】
:
赛景波
【机 构】
:
北京工业大学电子信息与控制工程学院
【出 处】
:
云南大学学报(自然科学版)
【发表日期】
:
2005年S1期
【关键词】
:
纳米测量
激光
声光调制器
光电接收器
光探针
数字鉴相
nanometer measurement
laser
acousto-optic modulat
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