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【摘 要】
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场板的制备工艺与特性研究对提高RFLDMOS大功率器件的可靠性与耐高压性有重要意义。文中制备了一种“Si衬底-SiO2-多晶-硅化钛-金属”结构的场板，分析了其工艺条件对特性的影
【机 构】
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中国电子科技集团公司第58研究所
【出 处】
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电子与封装
【发表日期】
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2013年10期
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