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利用全息干涉的方法,在10×15mm~2面积上制作了适合于分布反馈(DFB)激光器的一级和二级光栅,其周期分别为2300 和4600 ,工艺重复性能良好。
全息干涉法刻制分布反馈（DFB）激光器光栅
【摘 要】
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利用全息干涉的方法,在10×15mm~2面积上制作了适合于分布反馈(DFB)激光器的一级和二级光栅,其周期分别为2300 和4600 ,工艺重复性能良好。
【出 处】
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半导体情报
【发表日期】
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1990年5期
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