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本文对用加速器法（ＣＡＤ）在９Ｃｒ１８不锈轴承钢上制备的无氢类金刚石（ＨＦＤＬＣ）样品进行了显微硬度测试、磨擦磨损试验、激光扫描显微镜（ＬＳＭ）观察和透射电镜（ＴＥＭ）分析。试验结果表明用该工艺方法制 的ＨＦＤＬＣ膜具有非晶态显微结构，硬度极高，磨擦贪婪在损性能优异。
加速器法沉积无氢类金刚石薄膜的性能与结构
【摘 要】
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本文对用加速器法（ＣＡＤ）在９Ｃｒ１８不锈轴承钢上制备的无氢类金刚石（ＨＦＤＬＣ）样品进行了显微硬度测试、磨擦磨损试验、激光扫描显微镜（ＬＳＭ）观察和透射电镜（ＴＥＭ）分析。试验结果表明用该工艺方法制 的ＨＦＤＬＣ膜具有非晶
【机 构】
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北京材料工艺研究所
【出 处】
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电子显微学报
【发表日期】
：
1997年4期
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