论文部分内容阅读
随着MEMS器件的广泛研究和快速进步,非硅基材料被广泛用于MEMS器件中.键合技术成为MEMS器件制作、组装和封装的关键性技术之一,它不仅可以降低工艺的复杂性,而且使许多新技术和新应用在MEMS器件中得以实现.目前主要的键合技术包括直接键合、阳极键合、粘结剂键合和共晶键合.
用于MEMS器件的键合工艺研究进展
【摘 要】
：
随着MEMS器件的广泛研究和快速进步,非硅基材料被广泛用于MEMS器件中.键合技术成为MEMS器件制作、组装和封装的关键性技术之一,它不仅可以降低工艺的复杂性,而且使许多新技术
【机 构】
：
上海交通大学
【出 处】
：
电子工艺技术
【发表日期】
：
2005年6期
其他文献
“德国制造”曾经是一个神话它不仅表现为某件质量优异、行销全球的产品。也意味着附着其上的技术标准与工艺流程。更指向孕育它的制度与文化。直抵一种创造模式和国民精神。
压电振动能采集器是无线传感节点的一种理想电源，近年来受到广泛关注．考虑质量块和逆压电效应影响，建立了在基础激励作用下的悬臂梁压电振动能采集器的集总参数运动微分方程，得到
一、总体情况 2003年世界苹果贸易总量为600万t左右，贸易额30亿美元。从联合国粮农组织（FAO）统计数据分析，世界各国苹果出口量每年保持逐步递增态势，2001年、2002年、2003年的增
党的十九大报告第一次将我国当前社会的主要矛盾表述为:“人们日益增长的美好生活需要和不平衡不充分的发展之间的矛盾”。从经济学角度来看,新时代的本质是精神经济;美好生
目的:优选补气生血口服液中何首乌提取方法与生产工艺条件。方法:以二苯乙烯苷含量为指标,比较何首乌提取生产工艺,选择最佳方法。设计正交实验,考察该方法的不同影响因素(加
随着社会经济的不断发展,人们生活水平也在逐年提高。人们对于饮食人要求,已经不仅仅是停留在温饱的要求。食品营养化、精细化越来越成为人们餐桌需求。而牛肉作为人们的喜爱
随着系统和装备复杂程度日益提高,单一的连续动态模型或离散事件模型已不能够准确描述和分析系统的动态过程,为此,混杂系统理论得以产生并迅速发展。切换系统是混杂系统的一
<正>休闲农业具有完整的产业主体、产业客体和产业载体,生物、生产、生活、生态、生命的内涵相辅相成。在我国,休闲农业产生于20世纪80年代,已成为当前农业产业转型升级、农
<正>临床资料病例1:患者,男,66岁。2015年10月因头皮斑块66年,近1年出现黑色斑点来诊。患者出生时,左枕部头皮即有数个黄豆大斑疹,淡黄色,无自觉症状,未予治疗。十几岁时斑疹
学术论文是用来表达科学研究成果的一种文章体裁。它是传播科学研究成果的重要工具,许多科学研究中的新发现、新发明都是以它的形式公诸于世,传播开来,成为人类共同的财富。