【摘 要】
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提出了一种改进型的可应用于微型光谱仪的光栅光调制器（GLM），器件由可动光栅和底层反射层组成。通过静电驱动由多个GLM组成的线阵单元，下拉栅条至不同高度可实现对不同波长光进行
【机 构】
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重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室,重庆大学新型微纳器件与系统技术国家重点学科实验室
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提出了一种改进型的可应用于微型光谱仪的光栅光调制器（GLM），器件由可动光栅和底层反射层组成。通过静电驱动由多个GLM组成的线阵单元，下拉栅条至不同高度可实现对不同波长光进行开关选通调制。介绍了该器件的工作原理、结构和工艺流程，利用Coventor软件对器件进行建模。通过有限元分析了器件的机电耦合特性，得到了器件的吸合电压和响应频率，并得出不同结构参数对器件栅条平坦度的影响关系。仿真结果表明：通过增加栅条厚度，改进底电极结构，且采用减薄的折叠型支撑梁，能够有效改善光栅面平坦度，使其较好地实现对光的开关选通
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