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本文从流固耦合的基本原理出发，以ANSYS软件为工具，对流体精密抛光二维高频振动中的振动槽体在双超声振动和机械一超声振动两种不同的工况、多组不同振动频率条件下的状态进行了流固耦合分析。整个分析过程模拟了抛光过程中流体在二维振动耦合下的振动场分布，获得振动场中流体的。运动轨迹，并得出了流体在振动场中的运动规律。