Comparison between Double Crystals X-ray Diffraction and Micro-Raman Measurement on Composition Dete

• 作 者: Lei ZHAO Yuhua ZUO Buwen CHENG
• 机 构: StateKeyLaboratoryonIntegratedOptoelectronics
• 出 处: 材料科学技术学报：英文版
• 发表日期: 2006年5期
• 关键词: 双结晶X-射线衍射法 微拉曼测量法 硅 锗 成分测定 晶体外延生长 Si1-xGex Ge content Composition determinatio
• 基金项目: AcknowledgementThis work is supported by the National Natural Science Foundation of China （Grant Nos. 60336010 ＆ 90401001）, 973 Program （Grant No. TG 2000036603） and the Student Innovation Program of

获得 Si_(1-x ) Ge_x 层的作文是重要的，特别，那与高 Ge 满足， Si 上的 epitaxied 底层。二个非破坏性的考试方法，两倍晶体X光检查衍射( DCXRD )和 micro-Raman 测量，当当 x 是低的时，二个方法与对方一致时，比较地被介绍在Si_( 1-x ) Ge_x 层决定 x 价值，它显示出那，从两倍晶体X光检查衍射获得的结果不由于发生在Si_( 1-x ) Ge_x 的大紧张松驰是可信的，层 Ge 什么时候满足，比大约20%高。Micro-Raman 测量为比 DC