【摘 要】
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质谱探漏仪的灵敏度是仪器最重要的性能指标。本文研究和评述了目前已收集到的各种质谱探漏仪灵敏度的定义和校准方法,并根据我们在这方面进行的实际工作提出了一个较严格的质
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质谱探漏仪的灵敏度是仪器最重要的性能指标。本文研究和评述了目前已收集到的各种质谱探漏仪灵敏度的定义和校准方法,并根据我们在这方面进行的实际工作提出了一个较严格的质谱探漏仪灵敏度和浓度灵敏度的定义以及相应的校准方法。利用一支白金丝玻璃型标准漏孔和一台简单的配置系统即可在10-6—10-13乇·升/秒的范围内严格按照定义方便地校准仪器灵敏度、浓度灵敏度,并可研究仪器的输出指示与漏量的线性关系、灵敏度与工作状态(如工作压强、扩散泵加热功率…等)的关系,最后介绍了这些概念和校准方法的一些实际应用举例。
The sensitivity of a mass spectrometer is the most important performance measure of the instrument. This paper studies and comments on the definition and calibration methods of the sensitivity of various mass spectrometers collected so far. Based on the practical work in this field, we propose a more stringent definition of the sensitivity and concentration sensitivity of mass spectrometer The corresponding calibration method. Instrument calibration is easily and precisely defined by the definition of a standard platinum glass leak through a standard configuration and a simple configuration system in the range of 10-6-10-13 Torr · L / The relationship between the output of the instrument and the leakage, the sensitivity and working conditions (such as working pressure, diffusion pump heating power, etc.) are discussed. Finally, some practical examples of these concepts and calibration methods are introduced.
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