【摘 要】
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本文介绍的电源具有下垂特性的电流，电压负反馈双闭环系统，采用Ｐ－Ｉ调节，使电源系统具有良好的动态特性。引入了电流截止负反馈，解决靶极辉光放电问题。该电源与负载匹配能力强、体积
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本文介绍的电源具有下垂特性的电流，电压负反馈双闭环系统，采用Ｐ－Ｉ调节，使电源系统具有良好的动态特性。引入了电流截止负反馈，解决靶极辉光放电问题。该电源与负载匹配能力强、体积小、集成度高、抗干扰能力强、调节方便。
This article describes the power with drooping characteristics of current and voltage feedback double closed-loop system, the use of P-I regulation, the power system has good dynamic characteristics. The introduction of the current cut-off negative feedback to solve the target glow discharge problems. The power and load matching ability, small size, high integration, anti-interference ability, easy to adjust.
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