【摘 要】
：
等离子体刻蚀(PE)具有成本低、清洁、线条分辨率高以及容易实现工艺自动化等优点.近几年来,随着低温等离子体淀积氮化硅半导体器件表面钝化技术的普及推广,等离子体刻蚀工艺
论文部分内容阅读
等离子体刻蚀(PE)具有成本低、清洁、线条分辨率高以及容易实现工艺自动化等优点.近几年来,随着低温等离子体淀积氮化硅半导体器件表面钝化技术的普及推广,等离子体刻蚀工艺得到了广泛的应用.我们从1981年起在大批量器件生产中应用了等离子体氮化硅刻蚀工艺。几年来由于被加工?
Plasma etching (PE) has the advantages of low cost, high cleanness, high line resolution and easy process automation etc. In recent years, with the popularization of surface passivation technology of low temperature plasma deposited silicon nitride semiconductor devices, plasma The body etching process has been widely used, and we have been using plasma silicon nitride etch processes in high volume devices since 1981. Several years due to be processed?
其他文献
我的弟弟已经20个月了，是我们家的小男子汉。他短短的头发，圆圆的脸，一双胖乎乎的小手，两只又大又厚的“年糕”脚，非常可爱。可他是我家的“破坏王”。
小学的语文教学是基础性的,关系到学生语文知识基础以及性格、习惯、能力基础的养成,教师不应过于简单地去看待,应该与学生进行互动交流,但在传统的教学观念中,互动式教育几
我喜欢的花是兰花.虽然它没有牡丹的国色天香、荷花的出污泥而不染,没有白玉兰花那么洁白如玉,没有梅花坚贞不屈的个性,也没有马蹄莲的纯洁和芍药的鲜艳夺目,但它以自己独特
田野葵花向阳开,校园绿树河边站,以生为本发展路,脚踏实地育人才.本文作者紧密联系工作实际,畅谈了构建乡镇小学可持续发展的新思路,值得大家予以适度关注和深层次探讨.
为了全面实施素质教育,更好地实践《义务教育新课程标准》,促进学生自主学习、特长培养和个性发展,深入推进我校英语课程改革,不断提升我校英语教学质量和整体办学水平,我校
现代教育技术的发展为我们的小学语文教学提供了很大的契机,我们教师应该在平时的教学中不断提高自身素质,利用现代教育技术构建更好的小学语文教学模式,这样才能更好地提高
田升林业局木材加工厂革命职工,遵照毛主席“自力更生”、“艰苦奋斗”的教导,发扬了敢想、敢干的革命精神,大搞利旧利废,克服了缺料、缺加工部件等困难,最近成
In accorda
阅读是学生学习英语知识的基本手段之一。要想提高初中英语阅读教学的实效性,我们就必须设置多元化的教学目标,鼓励学生形成积极自主的学习习惯和能力,并在课堂实践中时时训
有个教育家说过这么一句话:语文教学不是在帮孩子们“堆沙”,而是在帮孩子们“织网”.老师们通过纵向梳理教学体系,在明确学生教学任务的基础上,培养学生的阅读能力,小学三年
我有一个既温柔又严厉的妈妈.用“活火山”来形容妈妈最合适不过了,因为她时不时就会发火,而且预先也没有什么征兆.