CVD金刚石薄膜的织构与显微组织研究

• 作 者: 陈冷 张建升 毛卫民
• 机 构: 北京科技大学材料学系
• 出 处: 科学技术与工程
• 发表日期: 2007年6期
• 关键词: 金刚石薄膜 织构 显微组织 diamond films texture microstructure

对直流电弧等离子喷射化学气相沉积法（CVD）制备的自支撑金刚石薄膜，用X射线衍射测量了薄膜织构，并用扫描电镜观察了薄膜显微组织。发现金刚石薄膜的织构为{110}、{111}、{112}和{221}等纤维织构。实验结果表明，金刚石薄膜比较致密并且晶形比较完整，不同生长因子对应不同立方体一八面体几何形状。分析和讨论了金刚石薄膜的制备工艺参数如衬底温度和甲烷浓度对其织构和显微组织产生的影响。