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硅晶体线切割加工过程中切割线振动的研究
硅晶体线切割加工过程中切割线振动的研究
来源 :机电工程技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:marymahoo1985
【摘 要】
:
硅晶体线切割的加工过程中,切割线振动的产生严重影响着晶体工件的加工精度和质量以及切割线的寿命。本文介绍了当前研究切割线振动的主要方法及主要成果,并建立了切割线的运
【作 者】
:
林建荣
魏昕
舒继千
【机 构】
:
广东工业大学
【出 处】
:
机电工程技术
【发表日期】
:
2007年12期
【关键词】
:
线切割
振动
响应
wire saw
vibration
response
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硅晶体线切割的加工过程中,切割线振动的产生严重影响着晶体工件的加工精度和质量以及切割线的寿命。本文介绍了当前研究切割线振动的主要方法及主要成果,并建立了切割线的运动方程,分析了磨粒对切割线的激励,通过模态分析得出系统的响应函数。
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