【摘 要】
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微纳米级精密定位技术在前沿科学研究和尖端工业生产中得到越来越广泛的应用,其中具有高分辨率的微位移技术是微纳操作的关键。不同于传统的齿轮传动或螺距调节,本文利用压电
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微纳米级精密定位技术在前沿科学研究和尖端工业生产中得到越来越广泛的应用,其中具有高分辨率的微位移技术是微纳操作的关键。不同于传统的齿轮传动或螺距调节,本文利用压电陶瓷优异的压电特性,结合仿生学原理模拟鳞翅目(Lepidoptera)幼虫的爬行方式,制作出一款简易的微位移精密定位装置,在单片机的控制下选择微位移方向并指定移动步数,实现二维平面微纳米级定位。经测试,装置的平均位移量是微纳米级别,且与电压值呈良好的线性关系。整套装置成本较低,有一定的创新性,对于学习压电陶瓷和单片机的相关知识及应用具有指导意义。
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