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介绍了一种新型16通道、100GHz通道间隔的硅基二氧化硅单侧耦合阵列波导光栅(AWG)，通过增加一个Y分支波导结构，并且将AWG的输入、输出波导等间距整齐排列，实现了仅用一个光纤阵列进行AWG器件的耦合封装，这种AWG的结构设计可以有效地减小器件尺寸，增加波导结构的弯曲半径，减少器件抛光及耦合时间，并降低器件成本。