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等离子体源离子注入鞘层时空演化的研究
等离子体源离子注入鞘层时空演化的研究
来源 :核聚变与等离子体物理 | 被引量 : 0次 | 上传用户:nsnsd_
【摘 要】
:
本文使用流体动力学模型,研究了平板、柱形和球形靶的无碰撞及碰撞等离子体鞘层的时空演化,得到了鞘层边界演化、靶表面的离子注入电流密度和离子注入平均动能等参量。
【作 者】
:
于炯
宫野
【机 构】
:
大连理工大学物理系
【出 处】
:
核聚变与等离子体物理
【发表日期】
:
1995年4期
【关键词】
:
等离子体源
离子注入
鞘层
数值计算
Plasma source ion implantation Collisional plasma sheathNumer
【基金项目】
:
国家自然科学基金,国家“863”高科技青年基金
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本文使用流体动力学模型,研究了平板、柱形和球形靶的无碰撞及碰撞等离子体鞘层的时空演化,得到了鞘层边界演化、靶表面的离子注入电流密度和离子注入平均动能等参量。
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