Al／Al2O3多层膜的表面分析与电性能的研究

来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wgz204

【摘要】

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用热蒸发沉积和自然氧化及加热法制备纳米量级的Al/Al2/O3薄膜和多层膜.本文用X射线光电子能谱(XPS)和紫外光电子能谱(UPS)对样品进行价带能谱的检测与分析.获得的Al/Al2/O3

【作者】

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薛钰芝 Martin A Green

【机构】

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大连铁道学院,澳大利亚新南威尔士大学光伏工程研究中心

【出处】

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真空科学与技术

【发表日期】

：

2002年6期

【关键词】

：

Al/Al2O3多层膜表面分析电性能铝氧化铝电子结构 Al/Al2O3 multilayers Surface analysis Electric p

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用热蒸发沉积和自然氧化及加热法制备纳米量级的Al/Al2/O3薄膜和多层膜.本文用X射线光电子能谱(XPS)和紫外光电子能谱(UPS)对样品进行价带能谱的检测与分析.获得的Al/Al2/O3多层膜价带的XPS光电子能谱谱形基本相似;通过对Al/Al2O3三层膜在不同极角的UPS谱线的检测,得到其Ei-(k∥i)关系曲线.此外,测定了低温下的I-U特性,发现纳米量级的Al/Al2O3薄膜具有负阻特性.

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