【摘 要】
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针对分隔进口垂直高速转盘式（RDR）MOCVD反应器生长GaN的气相化学反应路径进行数值模拟研究。分别考虑TMG与一个NH3的加合反应（模型1）和TMG∶NH3与第二个NH3的加合反应（模型2）两种情
【机 构】
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江苏科技大学苏州理工学院,江苏大学能源与动力工程学院
【基金项目】
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国家自然科学基金(61176009)
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针对分隔进口垂直高速转盘式（RDR）MOCVD反应器生长GaN的气相化学反应路径进行数值模拟研究。分别考虑TMG与一个NH3的加合反应（模型1）和TMG∶NH3与第二个NH3的加合反应（模型2）两种情况,通过对比两种情况下衬底表面附近主要反应前体的浓度大小,判断GaN生长的主导反应路径。通过分析模拟结果发现:只考虑TMG与一个NH3的加合反应时,GaN生长主要遵循TMG热解路径;在考虑TMG∶NH3与第二个NH3的加合反应时,GaN生长主要遵循加合路径。由此可见,TMG∶NH3与第二个NH3的反应对于MO
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