【摘 要】
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筒形阴极由于具有向内放电的特性,可改善高功率脉冲磁控溅射技术放电不稳定、溅射材料离化率差异大等缺陷.然而其产生的等离子体仅能依靠浓度差扩散的方式向基体运动,沉积速
【机 构】
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北京大学深圳研究生院新材料学院,香港城市大学物理与材料科学系
【基金项目】
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广东省科学技术研究基金(批准号:2015B090927003),深圳市科学技术研究基金(批准号:JCYJ20150828093127698,JCYJ20170306165240649),香港创新与技术基金(ITF)(批准号:No.ITS/452/17FP(CityU9440179))资助的课题.
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筒形阴极由于具有向内放电的特性,可改善高功率脉冲磁控溅射技术放电不稳定、溅射材料离化率差异大等缺陷.然而其产生的等离子体仅能依靠浓度差扩散的方式向基体运动,沉积速率并没有明显改善,尤其是在远离阴极区域.使用外扩型磁场对离子运动进行引导,可实现等离子体的聚焦和远距离输运,从而减少离子损失,提高沉积效率.本文从模拟和实验的角度对磁场的布局与设置进行研究,并获得不同磁场条件下的等离子体空间和时间输运特性及其对薄膜沉积的影响.结果表明电磁场的引入不仅可以大幅提高筒形阴极内等离子体的引出效率,实现不同程度的引出或聚
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